中为科技占26%，长投集团占25%，沪微电子占15%，中微电子占10%，科益虹源、国望光学股份、长春国科精密、路维光电、北方华创股份、华卓精科科技股份各占4%。
5月下旬，由中为科技发函，邀请所有加盟企业到鹏城，签订合作协议。
第三天，正式协议在中为科技总部签订。协议规定：
一、 十家公司正式加入“光刻机联盟”倡议，并成立“光刻联盟”公司。
二、 经商议，十家公司一致推举梁剑任公司董事长，姜妍任公司副董事长，叶海亚任公司总经理。
三、各入股伙伴按照所持股份缴纳公司股本，公司总股本为10亿元。公司第一期研发资本为1000亿，各入股伙伴按照所持股份缴纳研发资本。
四、各入股伙伴按照所持股份分红。
五、“光刻联盟”公司第一款5纳米EUV浸润式光刻机的研发周期设定为三年，及在2024年上半年面世。
……
签订协议之后，任老爷子亲自设宴款待大家，为“光刻联盟”公司的成立表示祝贺，为各位合作伙伴的到来表示慰问。
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